多层铜基板性能由材料 + 叠层 + 蚀刻 + 层压 + 测试五大工艺决定,缺一不可。①材料选型:铜基层用 TU1 高纯铜(纯度≥99.95%),绝缘层选高 Tg(≥180℃)、低 CTE、高耐电压的环氧玻纤或聚酰亚胺,铜箔用电解铜(2–20oz)。②叠层设计:常见 2–8 层,对称叠层(如 4 层:铜‑绝缘‑铜‑绝缘‑铜)减少翘曲;功率层用厚铜(6–12oz),信号层用薄铜(1–2oz),电源 / 地层分离降低阻抗。③蚀刻工艺:厚铜(≥4oz)需严控蚀刻因子,减少侧蚀,保证线宽 / 线距精度(±0.1mm);激光钻孔做微孔(≥0.15mm),实现层间互联。④层压工艺:高温高压(180℃、30kg/cm²)下棕化铜面,增强绝缘层与铜层结合力,避免分层;大尺寸无铜区需控制压力分布,保证平整度。⑤可靠性测试:热阻、导热系数、耐压(≥2kV)、绝缘电阻(≥10¹²Ω)、冷热循环(‑40℃~125℃,1000 次)、振动测试(10g,24h),确保严苛环境稳定。工艺管控到位,才能做出高导热、低阻抗、高可靠的多层铜基板。

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